تصميم وتصنيع فرن التلدين الحراري السريع لاشباه الموصلات والاغشيه الرقيقة

Abstract

في هذا البحث صمم وصنع فرن تلدين حراري سريع(RTF) Rapid Thermal Furnace تصل درجة حرارته الى اكثر من 600 مº يستخدم لأغراض التلدين الحراري السريع للخلايا الشمسية والاغشية الرقيقة لتحسين خصائصها من خلال التخلص من العيوب التركيبية ، وكذلك لتطبيقات الاكسدة الحرارية بطريقة التسخين بزمن قصير جدا لايسمح بأنتشار الشوائب ، أستخدمت في تصنيعه مصابيح أضاءة هالوجينية ذات طيف واسع يمتد من المنطقة المرئية الى تحت الحمراء كعناصر للتسخين ، وقد أمكن السيطرة على درجة الحرارة والزمن اللذان يعتبران أهم عنصرين في عملية التلدين الحراري والاكسدة الحرارية السريعة بأستخدام مفاتيح تحكم . إن عملية التسخين لم تتجاوز اكثر من 180 ثانية لتصل حرارة الفرن الى 600 مº ، وقد أجريت عملية تلدين حراري سريع لخلية شمسية سليكونية ووجد أن كفاءتها التحويلية قد ازدادت من 5% الى 7.1% بعد عملية التلدين الحراري بفترة زمنية أستغرقت30 ثانية فقط .